Die Rigaku Corporation, ein globaler Lösungspartner für Röntgenmesstechnik und ein Unternehmen der Rigaku Holdings Corporation (Hauptsitz: Akishima, Tokio; CEO: Jun Kawakami; im Folgenden „Rigaku“), hat die Serienproduktion des XTRAIA XD-3300, eines hochauflösenden Mikrospot-Röntgendiffraktometers, aufgenommen.
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XTRAIA XD-3300
Vor dem Hintergrund der Nachfrage nach generativer KI und Rechenzentren schreiten die Skalierung und 3D-Realisierung von Halbleitern mit beispielloser Geschwindigkeit voran. Der Bedarf an Speicher der nächsten Generation wie High-Bandwidth Memory (HBM) und 3D-DRAM sowie an Logikhalbleitern der 2-nm-Generation und darüber hinaus wächst. Um eine hohe Leistung dieser Bauelemente zu gewährleisten, setzen Chiphersteller zunehmend Supergitter (integrierte Strukturen im Nanobereich) unter Verwendung von Si/SiGe-Prozessen (Silizium/Silizium-Germanium) ein. Um diese komplexen inneren Strukturen angemessen zu kontrollieren, ist eine Messtechnik, die die Zusammensetzung und Dicke von Si/SiGe-Schichten genau bestimmen kann, unverzichtbar, da sie den Schlüssel zur Verbesserung der Produktleistung und Ausbeute darstellt.
Um diesen Anforderungen gerecht zu werden, hat Rigaku das XTRAIA XD-3300 entwickelt, ein originelles Messsystem, das vollständig im eigenen Haus entwickelt und gebaut wurde, vom Röntgenoptiksystem über den Detektor bis hin zur Beugungssoftware. Es ist das weltweit einzige System, das direkte, zerstörungsfreie Beugungsmessungen von Supergitterstrukturen mit höchster Auflösung auf mikroskopisch kleinen Pads auf Wafern durchführen kann.
Das einzigartige optische Röntgensystem des XTRAIA XD-3300 ist der entscheidende Faktor für seine Leistungsfähigkeit. Durch die Kombination von ultrahochleistungsfähigen Spiegeln mit gebogenen Kristallen ermöglicht dieses System Messungen mit einer bis zu 100-mal höheren Geschwindigkeit als bisherige Produkte. Die Beugungsmessungen, die früher mehrere Stunden dauerten, können nun in nur wenigen Minuten durchgeführt werden.
Darüber hinaus liefert eine fortschrittliche Beugungssoftware genaue numerische Ergebnisse zur Periodizität und Grenzflächenqualität dieser komplexen, mehrschichtigen Supergitter.
Rigaku erwartet für dieses Produkt im Geschäftsjahr 2025 einen Umsatz von über 1 Mrd. JPY (ca. 6,9 Mio. USD, basierend auf einem Wechselkurs von 145 JPY = 1 USD). Das Unternehmen hat die Erweiterung seiner Produktionskapazitäten bereits abgeschlossen, darunter die Fertigstellung eines neuen Fabrikgebäudes und die Erhöhung der Anzahl der Produktionskabinen auf 15. Ab dem vierten Quartal des Geschäftsjahres 2025 rechnet Rigaku mit einer raschen Umsatzsteigerung durch Lieferungen an mehrere globale Halbleiterhersteller. Das Unternehmen strebt für das Geschäftsjahr 2030 einen Umsatz von rund 10 Mrd. JPY (ca. 69 Mio. USD) an.
Kiyoshi Ogata, Senior Executive Vice President und Product Division General Manager, äußerte sich wie folgt:
XTRAIA XD-3300 ist das Ergebnis der führenden Technologien von Rigaku. Wir haben dieses System bereits an mehrere führende Halbleiterhersteller geliefert, die mit Si/SiGe-Supergittern Halbleiter der nächsten Generation entwickeln. Da die Hersteller zunehmend auf die Massenproduktion von Halbleitern der nächsten Generation umstellen, rechnet Rigaku mit einer Ausweitung der Lieferungen des XTRAIA XD-3300. Wir sind davon überzeugt, dass hochauflösende, zerstörungsfreie Messungen mittels Röntgenbeugung in den kommenden Monaten und Jahren als Kerntechnologie für die Qualitätskontrolle in der Halbleiterfertigung der nächsten Generation zunehmend an Bedeutung gewinnen werden.
Merkmale des XTRAIA XD-3300
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Direkte visuelle zerstörungsfreie Beobachtung mikroskopischer Strukturen mit hoher Auflösung
Bietet detaillierte, zerstörungsfreie Beugungsmessungen des Inneren von nanoskaligen, mehrschichtigen Strukturen auf feinen Pads mit einem Durchmesser von weniger als 40 µm. Weltweit führende Auflösung führt direkt zu einer höheren Ausbeute. -
100-fache Steigerung der Messgeschwindigkeit im Vergleich zu Vorgängermodellen
Durch den Einsatz einer Röntgenkonvergenzoptik mit modernster Spiegeltechnologie liefert der XTRAIA XD-3300 den weltweit hellsten Röntgenstrahl mit kleinem Fleck. Dadurch kann es umfangreiche Messaufgaben mit rasender Geschwindigkeit erledigen. Sein hoher Durchsatz ermöglicht eine einfache Anpassung an Produktionslinien. -
Enthält die einzige Software, die in der Lage ist, die Beugung komplexer Supergitterstrukturen zu analysieren
Die fortschrittliche Beugungssoftware liefert eine genaue numerische Analyse der Periodizität und der Qualität der Grenzflächen von Si/SiGe und anderen Mehrschichtstrukturen. Diese leistungsstarke Fähigkeit unterstützt sowohl die Massenfertigung als auch die Entwicklungsphase von hochmodernen Speicher- und Logikhalbleiterbauelementen.
Weitere Informationen zu diesem Produkt: https://rigaku.com/products/semiconductor-metrology/xtraia-xd-series/xtraia-xd-3300?setLang=english
Hinweis: USD-Umrechnungen sind ungefähre Angaben und dienen nur als Referenz
Über die Rigaku Group
Seit der Gründung im Jahr 1951 haben sich die Ingenieure der Rigaku Group dem Ziel verschrieben, der Gesellschaft mit Spitzentechnologien zu helfen, insbesondere in den Kernbereichen Röntgen- und Thermoanalyse. Mit einer Marktpräsenz in über 90 Ländern und rund 2.000 Mitarbeitern in 9 weltweiten Niederlassungen ist Rigaku ein Lösungspartner für die Industrie und Forschungsinstitute. Unsere Verkaufsquote in Übersee hat etwa 70 % erreicht, während wir in Japan einen außergewöhnlich hohen Marktanteil halten. Gemeinsam mit unseren Kunden entwickeln wir uns weiter und wachsen. Da sich die Anwendungen von Halbleitern, elektronischen Materialien, Batterien, Umwelt, Ressourcen, Energie, Biowissenschaften bis hin zu anderen High-Tech-Bereichen erstrecken, verwirklicht Rigaku Innovationen unter dem Motto „To Improve Our World by Powering New Perspectives“.
Für weitere Informationen besuchen Sie bitte rigaku-holdings.com/english
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