JEOL Ltd. (TOKYO:6951) (Präsident und COO Izumi Oi) gibt die Markteinführung des neuen Schottky Feldemissions-Rasterelektronenmikroskops JSM-IT800 im Mai 2020 bekannt.
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JSM-IT800 (Photo: Business Wire)
Hintergrund der Entwicklung
Rasterelektronenmikroskope (Scanning Electron Microscopes, SEMs) werden in verschiedenen Bereichen eingesetzt, wie zum Beispiel im Bereich der Nanotechnologie, Metalle, Halbleiter, Keramiken, Medizin und Biologie. Da sich SEM-Anwendungen von der Forschung und Entwicklung bis hin zur Qualitätskontrolle und Produktprüfung in den Produktionsstätten immer weiter ausbreiten, benötigen SEM-Benutzer eine schnellere Datenerfassung in hoher Qualität und eine einfache Bestätigung von Informationen zur Zusammensetzung bei nahtlosem Betrieb.
Um diesen Anforderungen gerecht zu werden, umfasst das JSM-IT800 mit der „Intelligence Technology (IT)“-Plattform unsere In-lens Schottky Plus FE-Elektronenkanone für hochauflösende Bildgebung bis hin zur schnellen Abbildung von Elementen und das innovative elektronenoptische Steuerungssystem „Neo Engine“ sowie ein nahtloses GUI „SEM Center“ für die vollständige Integration eines energiedispersiven Röntgenspektrometers (energy dispersive X-ray spectrometer, EDS) von JEOL. Darüber hinaus umfasst das JSM-IT800 zwei Versionen mit zwei Arten von Objektivlinsen: die Hybridlinse (HL) für allgemeine SEM-Anwendungen und die Super-Hybridlinse (SHL) für Beobachtungen mit verbesserter Auflösung und für verschiedene Analysen.
Darüber hinaus ist die SHL-Version mit einem neuen Upper Hybrid Detector (UHD) ausgestattet, der einen höheren Signal-zu-Rausch-Abstand der Bilder ermöglicht.
Ein neuer Szintillator-Rückstreuelektronen-Detektor (Scintillator Backscattered Electron Detector, SBED) und ein flexibler Rückstreuelektronen-Detektor (Versatile Backscattered Electron Detector, VBED) sind ebenfalls mit dem JSM-IT800 erhältlich.
Nähere Angaben
1. In-lens Schottky Plus FE-Elektronenkanone
Eine verbesserte Integration der Elektronenkanone und der Kondensorlinse mit niedrigem Abbildungsfehler sorgt für eine höhere Helligkeit. Bei niedriger Beschleunigungsspannung (100 nA bei 5 kV) steht ein hoher Prüfstrom zur Verfügung. Das einzigartige In-lens Schottky-Plus-System ermöglicht verschiedene Anwendungen von der hochauflösenden Bildgebung bis hin zur schnellen Elementarabbildung, Elektronenrückstreuungsbeugungsanalyse (elemental mapping, electron backscatter diffraction, EBSD) und Emissionsspektroskopie mit weicher Röntgenstrahlung (soft X-ray emission spectroscopy, SXES), ohne dass die Linsenbedingungen geändert werden müssen.
2. Neo Engine (Neuer elektronenoptischer Motor)
Neo Engine ist ein hochmodernes elektronenoptisches System, in dem sich langjährige JEOL-Kerntechnologien vereinen. Anwender können stabile Beobachtungen auch bei wechselnden Beobachtungs- oder Analysebedingungen durchführen. Die gute Bedienbarkeit für automatische Funktionen wird weiter ausgebaut.
3. SEM Center / EDS-Integration
Ein GUI-„SEM Center“ ist komplett integriert, ebenso wie JEOL EDS für eine nahtlose und intuitive Bedienung. Das JSM-IT800 kann durch optionale Software-Add-ons erweitert werden, wie z. B. durch SMILENAVI zur Unterstützung unerfahrener Anwender und den LIVE-AI-Filter (Live Image Visual Enhancer – AI) für eine höhere Qualität der Live-Bilder.
4. Version mit Hybridlinse (HL) und Version mit Super-Hybridlinse (SHL)
Basierend auf einer Kombination der elektrostatischen Linse und der Linse für elektromagnetische Felder stehen zwei Arten von Objektivlinsen zur Verfügung, um die verschiedenen Bedürfnisse der Benutzer zu berücksichtigen. Mit den Eigenschaften des JSM-IT800 wird eine hohe räumliche Auflösung bei der Abbildung und Analyse eines breiten Spektrums von Proben, von magnetischen Materialien bis hin zu Isolatoren, erreicht.
5. Upper Hybrid Detector (UHD)
Der UHD, der bei der SHL-Version in die Objektivlinse eingebaut ist, verbessert die Erkennungseffizienz erheblich, was zur Aufnahme von Bildern mit einem höheren Signal-zu-Rausch-Abstand führt.
6. Neue Detektoren für rückgestreute Elektronen
Der Szintillator-Rückstreuelektronen-Detektor (Scintillator Backscattered Electron Detector, SBED, optional) hat eine hohe Ansprechempfindlichkeit und eignet sich zur Aufnahme von Materialkontrastbildern bei niedriger Beschleunigungsspannung. Der Versatile Backscattered Electron Detector (VBED, optional) mit einem segmentierten Detektorelementdesign ermöglicht dem Anwender die Wahl, die einzelnen Segmente zu konfigurieren oder vorprogrammierte Detektoreinstellungen zu verwenden, um Bilder mit dreidimensionalen, topographischen oder Kompositionsinformationen zu erfassen.
Verkaufsziel
1) JSM-IT800 SHL-Version: 90 Einheiten/Jahr
2) JSM-IT800 HL-Version: 50 Einheiten/Jahr
JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokio, 196-8558, Japan
Izumi Oi, Präsident und COO
(Börsenkürzel: 6951, Tokyo Stock Exchange First Section)
www.jeol.com
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